性能无疑是评估光谱仪非常重要的指标。性能优异的进口X射线荧光光谱仪做筛选检测能准确无误地排查合格和不合格，并将不确定的灰色部分压缩到zui小；有的光谱仪铅砷不分、镉的特征譜线与X光管铑电极的特征譜线重叠等。经常误判；有的光谱仪检测镉的灵敏度不够高，不能准确判定镉；大部分光谱仪的检测稳定性受到X光管老化、环境温度、电源波动等影响，使数值不准。由于性能不足，可能发生错判、误判、无法判定等事件频发，不确定的灰色部分比例大增。其后果必然是成本显著提高、风险增加。有的光谱仪X射线漏泄严重，危及操作者安全。更不可取。

    下面介绍的几个关键性能

1、X光管的电极材料

   目前X线荧光光谱仪基本上采用铑靶X光管，个别有钨靶X光管的。
①铑（Rh）靶：铑的特征譜线与镉的特征譜线重叠；铑电极发射强度不够高，对于镉的筛选排查不胜任。
②钨（W）靶：钨的特征譜线远离RoHS的5种元素特征譜线，无譜线重叠；发射强度高，能提高元素检测下限值。

2、检测器

①SDD：新型的SDD检测器属高纯硅检测器，稳定性好，检测灵敏度高。
②SSD：老款的SSD检测器属硅锂检测器，漂移大，检测灵敏度低。

3、检测方法和软件

①FP法、部分检量线法：稳定性差。
②带补正的相对检量线法：可以自动补偿环境条件变化、X光管老化、供电变化等对检测数据的影响。

4、X线束光斑直径

①光斑直径大小在使用中会体现出一些差别。目前光斑直径从0.1mm到15mm不等。光斑小不受试样面积限制，光斑大受材料不均匀性影响小。
②光斑大小间接反映X光束的能效。大光斑（几mm到十几mm）通常采用准直器整理光束，被遮挡部分白白浪费掉；1mm以下小光斑采用导管整理光束，能量损失较少。
③光斑大小根据实际测量需要选择，光束能量损失通常制造商在软件、滤光片等方面做适当补偿。